產品型號 | PEB-67LL |
產品名稱 | |
生產工藝 | 板式PECVD工藝 |
設備功能 | 將沒經過板式PECVD工藝處理的硅片自動化取出裝入碳框載板,并將經過工藝處理后的碳框載板內的硅片自動化取出裝籃。 |
適用硅片 | |
單晶/多晶 | 兼容 |
外形尺寸 | 156.75mm×156.75mm至166mm×166mm |
厚度 | 160μm-220μm |
工裝 | |
硅片花籃 |
片數=100、片距=4.76 使用江松花籃或客戶自有花籃(客戶提供圖紙,實物需滿足圖紙公差要求) |
硅片載板 | 6×7石墨框(客戶提供圖紙,實物需滿足圖紙公差要求) |
設備運行能力 | |
實際運行產能(凈產能) | ≥7000片/小時(6×7石墨框) |
正常運行時間(up time) | 98% |
平均故障時間(MTBF) | MTBF≥500小時 |
平均故障修復時間(MTTR) | MTTR≤1小時 |
碎片率 | ≤0.06%(不含本身隱裂,線痕等缺陷片)A片 |
動力要求 | |
電源 | AC 220V 單相50HZ |
功率 | 10KW |
壓縮空氣 | ≥0.6Mpa、主氣路管道直徑≥16mm(需提供四路進氣) |
環境 | |
溫度/濕度 | 0~35℃/40%~60% |
潔凈度 | 符合十萬級潔凈區相關規范要求 |
噪音 | ≤60dB |
設備結構 | |
整機重量 | 5000kg |
外形尺寸(mm) | 5380×4780×2550(長×寬×高) |
設備操作方位 | 見方案圖 |
硅片上料通道數量 | 通道數=3 |
硅片下料通道數量 | 通道數=3 |
硅片上料方式 | 花籃式上料(手動裝卸、空花籃自動流轉) |
硅片下料方式 | 花籃式下料(手動裝卸、空花籃自動流轉) |
載板物流方向 | 上層:進主工藝機、下層:出主工藝機 |
載板對接上層高 | 上層高=1080 |
載板對接下層高 | 下層高=450 |