產品展示
PEB-67LL

產品型號 PEB-67LL
產品名稱
生產工藝 板式PECVD工藝
設備功能 將沒經過板式PECVD工藝處理的硅片自動化取出裝入碳框載板,并將經過工藝處理后的碳框載板內的硅片自動化取出裝籃。
適用硅片
單晶/多晶 兼容
外形尺寸 156.75mm×156.75mm至166mm×166mm
厚度 160μm-220μm
工裝
硅片花籃 片數=100、片距=4.76
使用江松花籃或客戶自有花籃(客戶提供圖紙,實物需滿足圖紙公差要求)
硅片載板 6×7石墨框(客戶提供圖紙,實物需滿足圖紙公差要求)
設備運行能力
實際運行產能(凈產能) ≥7000片/小時(6×7石墨框)
正常運行時間(up time) 98%
平均故障時間(MTBF) MTBF≥500小時
平均故障修復時間(MTTR) MTTR≤1小時
碎片率 ≤0.06%(不含本身隱裂,線痕等缺陷片)A片
動力要求
電源 AC 220V 單相50HZ
功率 10KW
壓縮空氣 ≥0.6Mpa、主氣路管道直徑≥16mm(需提供四路進氣)
環境
溫度/濕度 0~35℃/40%~60%
潔凈度 符合十萬級潔凈區相關規范要求
噪音 ≤60dB
設備結構
整機重量 5000kg
外形尺寸(mm) 5380×4780×2550(長×寬×高)
設備操作方位 見方案圖
硅片上料通道數量 通道數=3
硅片下料通道數量 通道數=3
硅片上料方式 花籃式上料(手動裝卸、空花籃自動流轉)
硅片下料方式 花籃式下料(手動裝卸、空花籃自動流轉)
載板物流方向 上層:進主工藝機、下層:出主工藝機
載板對接上層高 上層高=1080
載板對接下層高 下層高=450
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